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ULVAC爱发科 LS 系列 螺杆型干泵 真空泵

ULVAC爱发科 LS 系列 螺杆型干泵 真空泵
LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。
以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过螺杆形状和节电技术的融合,使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。

  • 更新时间:2024-05-29
  • 产品型号:LS120A
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:140
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产品详情

ULVAC爱发科 LS 系列 螺杆型干泵 真空泵

ULVAC爱发科 LS 系列 螺杆型干泵 真空泵


特点

大气压附近的排气速度最大为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%。

■标配的专用消音器能解决干式真空泵的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以下,

 这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级(*1))

■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科技术。

 该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下(*2)

■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本


用途

LS系列有两种规格。

首先是面向清洁工艺的规格。

为内置ECO-SHOCK的低功耗型,适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。

具体来说,包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。


其次是面向轻工艺的规格。

具有表面处理和净化功能,适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。

具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。


规格

型号(C:C式样)
(L:L式样)
LS120ALS300ALS600ALS1200A
CLCLCLCL
最大排气速度m3/h1203806001000
到达压力Pa≦0.6≦0.1
电源电压200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消费电力
概略值 *1
kW0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷却水量L/min>2.0>4.0
Purge gas 量 *2SLM0~500~500~500~50
最大水蒸气
处理量 *3
kg/h1.51.51.51.5
噪音值*1dB(A)61616264
吸气口KF50(水平)/
VG50(垂直)
ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
排气口KF40KF40KF40KF40
质量kg142220242266
适用规格CE、cTUVus
标准附属品电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器
本体选配件电源电压:200V级或400V级、密封部材质:全氟弹性体(仅用于L型)



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