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技术文章/ article
USHIO紫外线固化技术在化工领域的应用在化工生产中,紫外线固化技术因高效、环保、节能的特性而日益受到重视。USHIO的UV固化技术涵盖从高压汞灯到UV-LED的完整产品序列,服务于油墨、涂料、胶粘剂等广泛领域。USHIO高压水银灯为光化学反应领域而开发,点灯中水银蒸气压为0.5~5MPa,具有较宽的紫外线线光谱,250~320nm和365nm的共振线是其典型的强线谱,功率范围从100W到450W可供选择。这些线光谱能量可有效引发紫外线固化型油墨、涂料、胶粘剂的聚合反应,作为...
USHIOMidori™系列便携式UVLED点固化系统技术解析USHIOAmerica推出的Midori™系列便携式UVLED点固化系统,是工业精密固化领域的一项重要技术创新。该系列包括UDC365(365nm波长)和UDC405(405nm波长)两款手持式LED光源,专为精密工业、医疗和电子装配领域的点固化应用而设计。Midori™系列采用电池供电设计(2节RCR123A可充电锂电池),设备重量仅约127.6克(4.5盎司),可实现真正的...
USHIO闪光灯与卤素灯在半导体热处理中的应用在半导体制造的热处理环节,精准的温控和高效的热能传输是保证工艺一致性的关键。USHIO提供的闪光灯和卤素灯产品,为半导体热制程提供了从紫外到红外全波段的光学热解决方案。USHIO闪光灯采用脉冲氙灯光源,可对多种敏感基板进行高能量密度辐照,配合172nm波长的高准直光线,可用于微型精密电路的制造。USHIO卤素灯则广泛应用于半导体晶圆加热、快速热退火及键合工艺中,通过将电能高效转化为红外辐射热能,实现对半导体材料精准、均匀的加热。在...
USHIO准分子灯在半导体光刻与表面处理中的应用准分子灯是USHIO在特种光源领域的一项核心技术产品。其准分子灯管采用准分子气体配比技术,可发射172nm、222nm、308nm等单色波长的紫外线。其中,172nm准分子灯在半导体制造中具有不可替代的技术地位。在半导体光刻领域,172nm准分子光源可产生高度准直的深紫外光束,用于制造线宽分辨率低至5×5微米的精密微型电路。在半导体晶圆表面处理方面,172nm准分子灯可实现光清洗和表面改性,包括灰化处理、亲水性处理、粘接性增强及...
USHIO超高压汞灯在半导体光刻工艺中的技术优势在半导体制造中,光刻是决定芯片制程精度的核心工序,而光源系统则是光刻设备的“心脏”。日本USHIO(牛尾)电机株式会社自1964年成立以来,深耕特种光源领域近60年,其超高压汞灯产品已广泛应用于全球半导体光刻产线。USHIO超高压汞灯主要作为半导体、液晶及印刷基板等光刻工序的光源,配备于各类曝光装置中。针对半导体制造中不断提高的成品率要求和日益突出的环保压力,USHIO开发出“Full/Half亮灯方式”技术,可实现超高压UV灯...
半导体制造中的膜厚测量——大塚电子膜厚仪的应用实例半导体制造工艺涉及数十层薄膜的沉积、刻蚀与抛光,每层薄膜的厚度偏差都可能导致芯片性能下降甚至报废。大塚电子的膜厚测量设备在半导体各工序中发挥着关键作用,从裸晶片到配线工序,形成了一套完整的光学检测解决方案。在薄膜沉积工艺中,Smart膜厚仪可用于测量光刻胶、SiO₂、Si₃N₄、High-k介质等薄膜的厚度,确保刻蚀与沉积工艺窗口精准可控。设备采用光谱反射干涉法,能够以非接触方式精确测量纳米级薄膜的厚度,测量范围覆盖1nm至9...
在线嵌入式膜厚检测——大塚电子赋能智能制造全流程监控在先进制造领域中,膜厚测量的场景远不止于实验室。产线上的在线实时监控、真空环境下的嵌入式检测、大面积均匀性扫描等需求,对大塚电子的膜厚检测产品线提出了多元化的技术挑战。大塚电子针对这些不同应用场景,开发了涵盖嵌入式膜厚检测仪、线扫描膜厚仪、真空腔体在线检测设备等多款产品。嵌入式膜厚检测仪采用分光干涉法,搭载了大塚电子高精度FFT膜厚解析系统。设备使用光学光纤构架测量系统,可灵活嵌入至各种制造设备中,实现实时的膜厚测量,并支持...
显微分光膜厚仪OPTM——微小区域的非破坏性膜厚测量在功能性薄膜的制造过程中,被测样品常常具有复杂的三维形状,传统的平板监测样品无法代表实际工件的膜厚分布。大塚电子的显微分光膜厚仪OPTM系列采用了显微反射分光干涉法,可在微小区域内实现高精度膜厚和光学常数(折射率和消光系数)的解析。OPTM可对各种薄膜、晶圆和光学材料上的单层或多层涂层膜进行非破坏、非接触的高速测量,测量时间仅1秒/点,即使是初次使用的操作者也能通过配备的直观软件轻松完成光学常数解析。该设备可实现最小3μm的...
Zeta电位在胶体稳定性评价中的重要意义与测量方法Zeta电位,又称界面电位,是表征分散体系中颗粒表面带电状态的关键物理量。一般而言,Zeta电位的绝对值越大,表示颗粒之间的静电斥力越强,体系能够维持较好的分散状态;反之,当Zeta电位接近零点时,颗粒容易发生聚集和沉降。因此,Zeta电位测量是评价胶体体系稳定性的核心手段之一,广泛应用于墨水、涂料、制药、食品和半导体等领域。测量Zeta电位的常用方法是电泳光散射技术。当对溶液中的颗粒施加电场时,带电颗粒会向相反电极方向迁移,...
大塚电子粒度分析技术——从实验室研发到工业品控的全场景覆盖大塚电子的粒度分析设备线涵盖从实验室g端科研到工业产线日常品控的全场景需求。ELSZ系列以高精度、多功能性满足前沿科研需求,而nanoSAQLA系列则以高通量、自动化设计服务于大批量样品检测场景。无论是有机溶剂、水溶液还是高盐溶液体系,大塚电子的设备均可灵活应对。在化学品和涂料行业中,大塚电子的设备可用于评估墨水、颜料、炭黑等分散体系的粒径分布和Zeta电位,从而控制分散稳定性、耐久性和保质期。在新能源电池材料领域,设...