
PRODUCT CLASSIFICATION
技术文章/ article
半导体制造中的膜厚测量——大塚电子膜厚仪的应用实例半导体制造工艺涉及数十层薄膜的沉积、刻蚀与抛光,每层薄膜的厚度偏差都可能导致芯片性能下降甚至报废。大塚电子的膜厚测量设备在半导体各工序中发挥着关键作用,从裸晶片到配线工序,形成了一套完整的光学检测解决方案。在薄膜沉积工艺中,Smart膜厚仪可用于测量光刻胶、SiO₂、Si₃N₄、High-k介质等薄膜的厚度,确保刻蚀与沉积工艺窗口精准可控。设备采用光谱反射干涉法,能够以非接触方式精确测量纳米级薄膜的厚度,测量范围覆盖1nm至9...
在线嵌入式膜厚检测——大塚电子赋能智能制造全流程监控在先进制造领域中,膜厚测量的场景远不止于实验室。产线上的在线实时监控、真空环境下的嵌入式检测、大面积均匀性扫描等需求,对大塚电子的膜厚检测产品线提出了多元化的技术挑战。大塚电子针对这些不同应用场景,开发了涵盖嵌入式膜厚检测仪、线扫描膜厚仪、真空腔体在线检测设备等多款产品。嵌入式膜厚检测仪采用分光干涉法,搭载了大塚电子高精度FFT膜厚解析系统。设备使用光学光纤构架测量系统,可灵活嵌入至各种制造设备中,实现实时的膜厚测量,并支持...
显微分光膜厚仪OPTM——微小区域的非破坏性膜厚测量在功能性薄膜的制造过程中,被测样品常常具有复杂的三维形状,传统的平板监测样品无法代表实际工件的膜厚分布。大塚电子的显微分光膜厚仪OPTM系列采用了显微反射分光干涉法,可在微小区域内实现高精度膜厚和光学常数(折射率和消光系数)的解析。OPTM可对各种薄膜、晶圆和光学材料上的单层或多层涂层膜进行非破坏、非接触的高速测量,测量时间仅1秒/点,即使是初次使用的操作者也能通过配备的直观软件轻松完成光学常数解析。该设备可实现最小3μm的...
Zeta电位在胶体稳定性评价中的重要意义与测量方法Zeta电位,又称界面电位,是表征分散体系中颗粒表面带电状态的关键物理量。一般而言,Zeta电位的绝对值越大,表示颗粒之间的静电斥力越强,体系能够维持较好的分散状态;反之,当Zeta电位接近零点时,颗粒容易发生聚集和沉降。因此,Zeta电位测量是评价胶体体系稳定性的核心手段之一,广泛应用于墨水、涂料、制药、食品和半导体等领域。测量Zeta电位的常用方法是电泳光散射技术。当对溶液中的颗粒施加电场时,带电颗粒会向相反电极方向迁移,...
大塚电子粒度分析技术——从实验室研发到工业品控的全场景覆盖大塚电子的粒度分析设备线涵盖从实验室g端科研到工业产线日常品控的全场景需求。ELSZ系列以高精度、多功能性满足前沿科研需求,而nanoSAQLA系列则以高通量、自动化设计服务于大批量样品检测场景。无论是有机溶剂、水溶液还是高盐溶液体系,大塚电子的设备均可灵活应对。在化学品和涂料行业中,大塚电子的设备可用于评估墨水、颜料、炭黑等分散体系的粒径分布和Zeta电位,从而控制分散稳定性、耐久性和保质期。在新能源电池材料领域,设...
氧分析仪的智能化趋势与第一热研的未来发展随着工业自动化和智能化水平的不断提升,现代气体分析仪已从单一的浓度测量设备发展为集数据采集、远程通讯、故障诊断等功能于一体的智能终端。第一热研在氧分析仪智能化方面进行了多项技术升级。在通讯集成方面,C-58系列控制单元内置RS-485和MODBUS/RTU通讯协议,可通过标准工业总线将氧浓度、传感器温度、报警状态等数据传输至中控系统。这对于需要远程监控和集中管理的工厂来说极大提升了运维效率。控制单元还提供手动/自动/远程三种量程切换方式...
DAIICHINEKKEN第一热研便携式氧分析仪在化工检修与密闭空间中的应用在化工装置检修、管道吹扫、储罐清洗和密闭空间作业等场景中,便携式氧分析仪是不可h缺的安全检测装备。第一热研TB-SI可携式氧气/微氧分析仪是该领域的代表性产品,内部采用TB-IIF-P传感器与C-28C或C-48控制器组合。TB-SI系列利用氧化锆电极测量氧浓度,主要用于微氧或低氧惰性气体中的氧气浓度测量,在半导体制程和回流焊炉等精密工艺中已普遍采用。即使对于高温烟气等较脏的样气也可直接测量,内置多重...
DAIICHINEKKEN氧分析仪在石油化工行业的应用石油化工行业对氧气浓度的精确控制有着严格要求。过高的氧含量可能引发爆炸事故,过低的氧含量则会影响工艺效率。第一热研氧分析仪在石化领域的应用贯穿炼油、化工原料气制备、储运安全等多个环节。在炼油过程中,C-58-2型顺磁式氧分析仪常用于监测反应容器或管道中的氧气浓度,可及时触发预警,保障人员与设备安全。该仪器采用磁机械哑铃传感器,利用氧气强顺磁性直接检测,不受CO₂、N₂、Ar等背景气体干扰,精度可达±0.1%F...
第一热研DAIICHINEKKEN热磁式氧分析仪的顺磁性原理与技术优势热磁式氧分析仪是第一热研另一项核心技术,它充分利用了氧气独特的顺磁物理特性——氧气在磁场作用下会产生热磁对流,对流强度与氧气浓度成正比,通过精密传感器将此物理变化转化为电信号,最终输出准确的氧浓度数据。与需要参比气体的氧化锆浓差电池法不同,第一热研热磁式氧分析仪不受周围大气环境的影响,响应速度快,特别适合氧气含量不超过40%的气体分析。其技术优势在于:响应时间不超过40秒,可实时监测氧浓度变化;测量精度高,...
第一热研DAIICHINEKKEN氧分析仪概述与技术体系日本第一热研株式会社(DAIICHINEKKEN)成立于1947年,总部位于兵库县芦屋市,是一家拥有数十年气体分析领域研发历史的企业。公司长期致力于氧化锆式、热磁式、超声波式等多种原理氧分析仪的设计与制造,产品广泛应用于石油化工、钢铁冶金、电力、环保、半导体及真空热处理等领域。第一热研的氧分析仪产品线涵盖TB系列、FG系列、OA系列、US系列及Air-C系列等多个产品系列,测量范围从ppm级微量氧到100%高浓度氧全域覆...