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池田屋直发！！EBARA荏原干式真空泵 ESA型

池田屋直发！！EBARA荏原干式真空泵 ESA型 ESA100W
池田屋实业优势供应，并提供报价图片

更新时间：2025-04-24
产品型号：ESA100W
厂商性质：经销商
访问量：60

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联系电话：0755-22220216

产品详情

池田屋直发！！EBARA荏原干式真空泵 ESA型 ESA100W

ESA类型

可排出氢气等轻质气体并对大型腔室进行高速排气的干式真空泵

大型真空室，高速排气

有机溶剂兼容选项

氢气和其他轻气体的尾气

耐腐蚀材料选项

无油

CE 标志/SEMI-S2/NRTL 兼容

非常适合研究机构

吸附特定化学物质

产品介绍

ESA型备有适合氢气等轻质气体排气的排气量1,400L/min～10,000L/min的型号，以及适合大型腔室高速排气的排气量20,000L/min～80,000L/min的型号。容量为 10,000 L/min 或更低的型号适用于轻质气体排放，并具有紧凑的设计和耐腐蚀材料选项。它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。大型机型虽然排气量大，但运行安静、振动低，并且还提供有机溶剂排气选件，非常适合用于液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等。

规格

模型

单元

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W

抽速

升/分钟

1,400（50赫兹）

2,500（50赫兹）

5,000（50赫兹）

7,000（50赫兹）

8,400（50赫兹/60赫兹）

10,000（50赫兹/60赫兹）

20,000（50赫兹/60赫兹）

28,000（50赫兹）

47,000（50赫兹）

80,000（50赫兹/60赫兹）

1,700（60赫兹）

3,000（60赫兹）

6,000（60赫兹）

8,400（60赫兹）

30,000（60赫兹）

50,000（60赫兹）

极限压力

爸爸

400（50赫兹）

5.3（50赫兹）

0.27（50赫兹）

0.4（50赫兹）

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

0.5

270（60赫兹）

4.0（60赫兹）

0.13（60赫兹）

0.27（60赫兹）

连接尺寸

进气口

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

排气口

NW40

NW50

极限压力下的近似功率值

千瓦

2.9（50赫兹）

2.6（50赫兹）

5.2（50赫兹）

3.6（50赫兹）

4.2

4.9

3.2（50赫兹）

6.6（50赫兹）

5.1（50赫兹）

7.4

3.2（60赫兹）

2.9（60赫兹）

5.8（60赫兹）

4.0（60赫兹）

3.4（60赫兹）

7.3（60赫兹）

6.7（60赫兹）

冷却水

流动

升/分钟

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

温度

℃

最大限度。三十

氮气

流动

帕•立方米/秒

14~17（4.6）

17~20（3.8）

34~40

24~27（4.7）

54~57

54~45

17~20（3.8）

7.5~10.5

8.5~11

电源相位/电压/频率

200V型号

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

400V型号

三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz

460V型号

三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz

供电容量

千伏安

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

46.5

近似质量

公斤

240

480

380

400

410

700

750

1200

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