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进口!!ULVAC爱发科 低能耗真空螺杆型干泵

进口!!ULVAC爱发科 低能耗真空螺杆型干泵 MS600A
池田屋实业优势供应 ,并提供报价图片

  • 更新时间:2025-06-06
  • 产品型号:MS600A
  • 厂商性质:经销商
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产品详情

进口!!ULVAC爱发科 低能耗真空螺杆型干泵 MS600A

进口!!ULVAC爱发科 低能耗真空螺杆型干泵 MS600A


"Model:MS"是螺杆型干式真空泵。在传统的"Model:LS"的基础上,提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。

该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。

特点

  • 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。

  • 采用ULVAC独T设计的转子轴,实现高性能的排粉。

  • 从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。


用途

  • 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

  • 真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。

  • 锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

  • 医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

规格

模型MS120AMS600AMS1200A
最大排气速度 *1立方米/小时115560980
到达压力出色地≦0.6≦0.1
电源电压200V级:三相,50/60Hz,AC200-240V±10% 或 400V级:三相,50/60Hz,AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2千瓦2.43.13.1
冷却水量升/分钟>4.0
Purge gas量 *1空间光调制器0~50
最大水蒸气处理量 *1*3公斤/小时1.5
噪音值 *1分贝(A)616264
吸气口KF50(卧式) / VG50(立式)ISO-F-80ISO-F-100
排气口KF40
质量 *4公斤139241264
适用规格CE、cTUVus
标准附属品快速手册、电源连接器、防水电缆夹、远程连接器、电源连接器保护装置、消音器
主机选项电源:200V级或400V级
密封材质:FKM或FFKM
外部选配件包装排气口、防震支架、LR兼容单元(入口、远程)、吹扫气阀

:到达压力时
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
*4:Including a silencer


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