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池田屋直营!!日本ENERGYS 微量氧分析仪

池田屋直营!!日本ENERGYS 微量氧分析仪 TF-21D201
池田屋实业优势供应 ,并提供报价图片

  • 更新时间:2025-08-04
  • 产品型号:TF-21D201
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:68
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产品详情

池田屋直营!!日本ENERGYS 微量氧分析仪 TF-21D201

池田屋直营!!日本ENERGYS 微量氧分析仪 TF-21D201



  • 传感器和接收器可以分离

  • 重量轻、结构紧凑,可集成到设备中

  • 低浓度(0-10 ppm范围)

用法

  • 半导体制造设备:扩散炉、RTP、各种N2气氛测量、空气分离设备

格式TF-21D201(TF-21型传感器+DTF-201型接收器)
传感器TF-21
接收者DTF-201
测量原理氧化锆浓差电池系统
测量范围最小 0-10 ppm 至最大 0-100% 四个范围可选,零点固定
校准空气点 + 最多可校准 4 点
输出4 至 20mA DC x 1 点(非绝缘输出,负载电阻 600Ω 或更小)
0 至 1V DC 或 0 至 5V DC 或 0 至 10V DC x 1 点可选(非绝缘输出)
样气/校准气流量0.5±0.02升/分钟。
准确性重复性±1% FS(小于0至1%范围)±0.5% FS(0至1%范围或以上)
线性±1% FS(0 至 1% 或以上)、±2% FS(0 至 1% 以下)、±3% FS(0 至 100 ppm 以下)
响应时间0-1% 或以上:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 *通过切换校准气体可实现 90% 的响应
漂移±2%FS/周以下
电源AC85至132V *选项:AC170至264V,DC24V±10%
接点输入(无电压接点输入)范围切换输入
接点输出
(开路集电极输出,
DC25V,最大50mA
,NO/NC可切换)
分析仪异常
量程回波(2 量程鉴别)
量程回波(3 量程鉴别)
READY
浓度上限报警(可设定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%)
浓度下限报警(可设定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%)
*从上面选择 4 点,可以更改设置
量程切换本地量程切换 / 远程量程切换 / 自动量程切换
*从上面选择并更改设置
输出HOLD设置无、任意值或错误发生前 5 秒的值。
*预热期间或传感器或接收器发生错误时按住。
浓度上下限报警上限报警:可设定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0%
下限报警:可设定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0%
RS232C通讯功能传输测量状态、错误代码、测量范围、测量值。
通信电缆规格:直通电缆
格式SH-304
传感器TF-21
接收者DTF-201
测量原理氧化锆浓差电池系统
测量范围0-10 / 100 / 1,000 ppm, 0-100%
* 最小 0-10 ppm ~ 最大 0-100% 可在零点固定的情况下选择 4 个量程中的任意一个
校准空气点 + 最多可校准 4 点
输出DC4~20mA×1点(非绝缘输出,负载电阻600Ω以下)
DC0~1V×1点(非绝缘输出)
样气/校准气流量0.3±0.05升/分钟。
准确性重复性±1% FS(小于0至1%范围)±0.5% FS(0至1%范围或以上)
线性±3% FS(0 至小于 100 ppm)±2% FS(0 至小于 1%)±4% FS(0 至 1% 或以上)
响应时间0-1% 或以上:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 *通过切换校准气体可实现 90% 的响应
漂移±2%FS/周以下
电源DC24V±10%
接点输入(无电压接点输入)范围切换输入
接点输出
(开路集电极输出,
DC25V,最大50mA
,NO/NC可切换)
分析仪异常
READY
浓度上限报警(可设置范围 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%)
浓度下限报警(可设置范围 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%)
量程回波(2 个量程鉴别)
量程回波(3 个量程鉴别)
* 前 4 项为标准,后 2 项也可更改。
量程切换自动量程切换
* 还可以选择远程量程和本地量程切换并更改设置
输出HOLD设置在异常发生前 5 秒保持该值。
*预热期间或传感器或接收器发生异常时保持
。*您也可以选择不保持或保持任意值。
浓度上下限报警上限报警:可设定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0%
下限报警:可设定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0%
RS232C通讯功能传输测量状态、错误代码、测量范围、测量值。
通信电缆规格:直通电缆


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