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现货供应 ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵

现货供应 ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵
通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

  • 更新时间:2024-05-29
  • 产品型号:HR1200
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:145
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现货供应 ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 

现货供应 ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 


特点

高温区域均热化

实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。

UR系列可比HR系列更加高温化。

氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。

瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

出色的耐腐蚀性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信,则可实现集中监控。


用途

CVD装置

蚀刻装置

灰化装置

ALD、ALH 等



规格

型号HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
机械增压泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
排气速度
50Hzm3/h
(L/min)
62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60Hzm3/h
(L/min)
80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
到达压力Pa50.67
最大排气压力
(吸入圧力)

大气压 *1
最大排气压力
(吸入圧力)
Pa1~ 大气压
吸气口 (CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
排气口KF40
质量kg180245275370420
电源三相VAC
(Hz)
200(50/60), 220(60)
电流值稳定时A7.1
(at 200V)
11.2
(at 200V)
7.8
(at 200V)
12.9
(at 200V)
15.4
(at 200V)
最大值A7.3
(at 200V)
11.8
(at 200V)
8.1
(at 200V)
13.8
(at 200V)
18.9
(at 200V)
冷却水一次圧力MPa0.1~0.3
冷却水出入口压差MPa>0.1
冷却水流量L/min>5.0
吹扫气一次压力MPa0.1~0.5
二次压力MPa0.05~0.1
N2吹扫SLM5
气镇SLM0~45



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