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日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 LR 系列
通过低温区域的泵体均热化,在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

  • 更新时间:2024-05-31
  • 产品型号:LR421-T
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:110
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产品详情

日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 LR 系列


特点

低温区域均热化(LR系列)

在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。

瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

出色的耐腐蚀性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信,则可实现集中监控。


用途

成膜装置(溅射装置/蒸镀装置等)

缩短备料下料室的排气时间

作为辅助排气泵(涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气)


池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年,位于广东省深圳市,是一家从事中日贸易的企业。

公司经过多年的发展,已整合多方海外厂商渠道,有稳定的合作关系,为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。

池田屋主要经营日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。

公司拥有专业的销售团队、技术团队、资深的管理团队,通过全体员工的不懈努力,凭借在工业品领域的专业水平和成熟技术,

服务于电子消费类、半导体,液晶光电,汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。

规格

型号LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排气速度
50Hz62 m3/h
(1030 L/min)
112 m3/h
(1860 L/min)
183 m3/h
(3100 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)
126 m3/h
(2100 L/min)
237 m3/h
(3950 L/min)
到达压力5.0 Pa
最大排气压力 (吸入圧力) 大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排气口KF40VG50
质量180 kg245 kg335 kg415 kg
电源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值稳定时6.9 A
(at 200V)
11.2 A
(at 200V)
18.9 A
(at 200V)
20.8 A
(at 200V)
最大值7.3 A
(at 200V)
11.8 A
(at 200V)
20.6 A
(at 200V)
48.5 A
(at 200V)
冷却水一次压力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水出入口压差>0.1 MPa>0.2 MPa
冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹扫气一次压力0.1~0.5 MPa
二次压力0.05~0.1 MPa
氮气吹扫5 SLM
气镇0~45 SLM没有0~45 SLM


















型号LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)
LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵
LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
机械
增压泵
PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)
PRC-036DPRC-036D
(D-T)
最大
排气
速度
50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)
653 m3/h
(10,900
L/min)
1,012 m3/h
(16,900
L/min)
1,701 m3/h
(28,350
L/min)
3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)
701 m3/h
(11,700
L/min)
1,051 m3/h
(17,500
L/min)
1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到达压力0.67 Pa
最大排气压力
(吸入圧力)
大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG80
(KF80)
VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排气口KF40KF50
MBP表面处理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
质量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
电源
*2
三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值稳定时7.0 A
(at 200V)
12.3 A
(at 200V)
13.7 A
(at 200V)
21.4 A
(at 200V)
31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值9.6 A
(at 200V)
19.0 A
(at 200V)
24.2 A
(at 200V)
39.8 A
(at 200V)
58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水
一次压力
0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水
出入口压差
>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷却水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹扫气一次
压力
0.1~0.5 MPa
二次
压力
0.05~0.1 MPa
N2
吹扫
5 SLM
气镇0~45 SLM没有 *30~45 SLM没有 *30~45 SLM





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