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ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 GR 系列

ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 GR 系列
干泵GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的,面向一般产业设计的简单结构的泵。

  • 更新时间:2024-05-29
  • 产品型号:GR60A
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:287
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产品详情

ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 GR 系列

ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 GR 系列


特点

可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域,可在高负荷下持续使用。

适用load lock室(装载/卸载室),可实现高吞吐量。

感应电机可通用

可以安装防爆电机等特殊电机(可选)

采用多电压兼容电机

用途

空气、惰性气体等洁净气体的真空排气

各种成膜设备放入取出室的真空排气

真空干燥,真空气体置换和真空脱泡等一般产业

真空气体置换,如真空热隔绝和气体填充



规格

型号GR60AGR90AGR180A
最大排气速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1030)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
极限压力 *1Pa5.0
最大排气压力(吸入圧力)大气压
最大排气口压力(排出圧力)Pa1.0 ~ 大气压
吸气口VG50VG80
排气口NW40
DRP表面处理
电机输出 [kW]2.23.77.5
电压 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
质量kg128188268
冷却方式冷却水
一次供给压力
MPa0.1~0.3
冷却水
出入口压差
MPa>0.1
冷却水温度10~30 *2
冷却水流量L/min>5.0
氮气一次侧
供给圧力
MPa0.1~0.5
二次侧
调整圧力 *3
MPa0.05 to 0.1 (运作时)
SLM5.0 *4

*1 极限压力是氮气(轴封气体)为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气(轴封气体)的流量固定为5.0SLM。



配件

型号材质表面处理重量(kg)法兰接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A
SUS304GBB处理4.1KF40-
RS-01+
套件C
SUS304GBB处理8.3KF40--


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