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ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 传感器型

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 传感器型
这是一个新系列的传感器类型 “G-TRAN系列复合电离真空计“,可以实现不同的测量范围。
作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。
保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念,但进行了改进,更加人性化。

  • 更新时间:2024-05-30
  • 产品型号:SH200-R
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:100
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产品详情

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 传感器型

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 传感器型


特点

可连接到不同的测量范围:复合电离真空计可以根据

小型化:与之前的产品相比,实现了尺寸的大幅缩小(控制器体积缩小56%),成为同级别最小的产品之一。

操作性的提高:通过与PC/智能手机的连接,可以进行设定点设置、状态确认等。

强大的产品阵容:除模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)。

灯丝寿命通知功能:通过监测灯丝功率,可提前通知灯丝寿命。

压力测量范围广:从大气压到高真空范围(1×10+5~5×10-8Pa)(选配SWU10-R的情况下)。

可以精确的测量大气压:可以检查腔体的开启情况(当连接了可选的单元SAU时)。


用途

用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控,包括半导体和电子元件。

用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量,例如in-line式和枚叶式

高真空・超高真空设备的压力测量


规格

型号SH200-ASH200-RHT200-E

规格标准规格串口通信规格EtherCAT规格
适应多离子传感器M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以连接的传感器多离子传感器:1本
皮拉尼真空计SWU10-R:1本(可选)
大其他传感器SAU:1本(可选)
测量精度(N2SH200本体模式:±2%
取样时间60ms 
測定値出力出力电压 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新时间60msec
控制输入信号FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打开集电极动作、负逻辑
* FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异
--
制御出力信号传感器错误,设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
--
串行通信规格-RS232C/RS-485EtherCAT
LED显示POWER/ERROR: 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
发射电流1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
DEGAS电子轰击脱离方法(电子轰击)1mA、330V
测量部耐圧性2×10+5Pa (绝对压力)
* 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
传感器内部容量17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用温度范围10~50℃
使用湿度范围15~80%(不结露)
保管温度-20~65℃(非通电时、不结露)
IP保护等級IP30
电源电压DC20~28V (波纹,噪音1%以下) 
8W以下
输入/输出连接器D-sub15销(M2.6螺丝)
重量调节器:约280g 测定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm (控制器部分)
适合规格CE


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