ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 传感器型这是一个新系列的传感器类型 “G-TRAN系列复合电离真空计“，可以实现不同的测量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念，但进行了改进，更加人性化。
更新时间：2024-05-30产品型号：SH200-R厂商性质：经销商访 问 量：182
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ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 传感器型
ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 传感器型
特点
可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据
小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。
操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。
强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。
灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～5×10-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）。
可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）。
用途
用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件。
用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式
高真空・超高真空设备的压力测量
规格
| 型号 | SH200-A | SH200-R | HT200-E | |
| 规格 | 标准规格 | 串口通信规格 | EtherCAT规格 | |
| 适应多离子传感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| 可以连接的传感器 | 多离子传感器：1本 皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选） 大其他传感器SAU：1本（可选） | |||
| 测量精度（N2） | SH200本体模式：±2％ | |||
| 取样时间 | 60ms | |||
| 測定値出力 | 出力电压 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力换算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新时间 | 60msec | |||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑 * FIL ON/OFF信号使用方式因模式而异 | - | - | |
| 制御出力信号 | 传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - | |
| 串行通信规格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED显示 | POWER/ERROR： 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化) | |||
| 发射电流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) | |||
| DEGAS | 电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V | |||
| 测量部耐圧性 | 2×10+5Pa （绝对压力） * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性 | |||
| 传感器内部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
| 使用温度范围 | 10～50℃ | |||
| 使用湿度范围 | 15～80%(不结露) | |||
| 保管温度 | -20～65℃(非通电时、不结露) | |||
| IP保护等級 | IP30 | |||
| 电源电压 | DC20～28V (波纹，噪音1%以下) 8W以下 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub15销（M2.6螺丝） | |||
| 重量 | 调节器：约280g 测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g | |||
| 外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
| 适合规格 | CE | |||
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