ULVAC 爱发科 G-TRAN 系列真空计 SC1/SC1-N、SH2-1/SH2-2、ST200 原理、参数梯度与工况选型规范
ULVAC 爱发科 G-TRAN 模块化真空测量系列是半导体、光学镀膜、锂电、真空热处理产线标配压力监测单元，依靠冷阴极、复合热阴极、一体化热阴极三类技术路线覆盖中高真空全区间，核心型号包含冷阴极 SC1、国产化 SC1-N，复合电离控制器 SH2-1、SH2-2，一体式三极管热阴极 ST200。三类产品测量区间、耐受工艺气体、控制功能差异明显，是真空系统真空规选型、旧设备替换的核心参考品类。
一、冷阴极电离真空计：SC1（日产）/SC1-N（国产）
SC1 与 SC1-N 为磁控管式无灯丝冷阴极规，无易损耗灯丝元件，核心测量区间5×10⁻⁵～1Pa，适配高真空区间稳定监测 。二者测量性能全一致，仅产地、适配规管区分：SC1 配套日系原装 C-21/C-23/C-24/C-25 规管，SC1-N 适配国产标准化 C-25-N 规管，成本更低，适配国内批量产线改造项目。核心优势：无灯丝结构，腔体意外破大气不会烧毁传感元件，耐微量溶剂蒸汽、溅射金属粉尘；内置 2 路压力设定点继电器输出，DC24V 供电，0-10V 对数压力信号直连 PLC。短板为无法测量 1Pa 以上中低真空，需搭配皮拉尼规组成复合监测系统。典型应用：溅射镀膜机、真空钎焊炉、高真空腔体末端高真空点位监测。
二、复合电离真空控制器：SH2-1、SH2-2
SH2 系列为分体式宽量程复合真空控制器，可同时搭载热阴极电离规 M 系列 + 皮拉尼 SPU 规，完整覆盖10⁵～5×10⁻⁸Pa，一条通道实现大气压至超高真空全程连续测量 。型号功能区分：
SH2-1：基础控制款，3 路压力设定点开关量输出，仅模拟 0-10V 对数信号，无数字通讯；
SH2-2：智能化升级款，保留全部模拟功能，新增 RS232C/RS485 串行通讯，支持上位机读取压力、灯丝寿命、故障代码，适配自动化闭环产线。
结构优势：规管独立可拆卸，仅更换损坏传感单元即可维保，整机无需返厂；内置灯丝过载、断路、除气保护，有机挥发物工况下灯丝寿命显著优于传统热阴极规。适配晶圆制程、OLED 蒸镀、连续式真空生产线多腔体集中压力管控。
三、一体式三极管热阴极真空计 ST200
ST200 为传感器 + 控制电路一体化金属三极管电离规，无需额外控制器，安装布线极简，测量基准区间1×10⁻⁵～10Pa，选配 SWU10-R 皮拉尼附件可拓展至大气压（10⁵Pa） 。产品分 ST200-A（仅模拟输出）、ST200-R（RS485 通讯）、ST200-E（EtherCAT 工业总线）三类变体；搭载铱钇氧化物双灯丝，内置灯丝损耗预警功能，提前推送更换提醒；金属腔体无玻璃部件，抗震动、耐溅射粉尘，适合小型镀膜机、实验室真空炉、便携式真空设备。相比 SH2 分体方案，ST200 体积缩小 56%，节省控制柜安装空间，单点位低成本监测s选。
四、选型边界与配套规范
仅需监测 1Pa 以下高真空、频繁破大气、预算可控：SC1-N 新建项目，存量进口设备保留 SC1；
整条产线全程压力采集、上位机数据采集：自动化产线选 SH2-2，单机间歇设备选 SH2-1；
小型腔体、单点监测、精简布线、无独立控制柜：ST200 一体化规；
配套逻辑：冷阴极 SC 系列必须搭配 SW1/SP1 皮拉尼规弥补中低真空盲区；SH2、ST200 可按需选配皮拉尼单元实现全量程覆盖。
五、运维注意事项
SC1/SC1-N 无灯丝，仅定期清理规筒溅射沉积物；SH2、ST200 灯丝属于消耗件，有机溶剂工况建议缩短维保周期；三类产品电源统一 DC24V，但规管、接头不可跨系列互换，备件需按型号分类库存。
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更新时间：2026-07-21 
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