池田屋现货！！富士金FUJIKIN 数控阀

池田屋现货！！富士金FUJIKIN 数控阀 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
池田屋实业优势供应，并提供报价图片

更新时间：2025-07-12
产品型号：FPR-PSD-21-6.35UGC#B
厂商性质：经销商
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产品详情

池田屋现货！！富士金FUJIKIN 数控阀 FPR-PSD-21-6.35UGC#B

富士金（FUJIKIN）是日本的高精度流体控制设备制造商，其产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能数字控制阀（数控阀），专为高精度气体流量控制设计，适用于严苛的工业环境。

1. 主要特点

高精度控制：流量控制精度可达 ±1% FS（满量程），适用于微流量调节。

快速响应：开关时间毫秒级（通常20-50ms），适合高速工艺需求。
耐腐蚀材料：阀体通常采用不锈钢（SUS316L），密封材料可选氟橡胶（FKM）、EPDM等，适用于腐蚀性气体（如HCl、Cl₂、NH₃等）。
数字信号控制：支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信协议（具体取决于配置），或模拟信号（4-20mA/0-5V）输入。
紧凑设计：体积小，适合高密度安装，节省设备空间。
高可靠性：适用于7×24小时连续运行，寿命长，维护需求低。

2. 典型应用

半导体制造：用于CVD（化学气相沉积）、蚀刻、离子注入等工艺的气体流量控制。
光伏行业：在薄膜太阳能电池制造中控制SiH₄、NH₃、NF₃等特种气体。
实验室设备：如气相色谱（GC）、质谱仪（MS）等需要高精度流量控制的场景。

3. 技术参数（示例，具体以数据为准）

项目	参数
型号	FPR-PSD-21-6.35UGC#B
接口尺寸	6.35mm（1/4英寸）
阀体材质	SUS316L（标准）
密封材料	氟橡胶（FKM）或其他可选
工作压力	0.1~0.7 MPa（可定制更高压力）
流量范围	0~50 SLM（标准氮气，可定制）
控制信号	数字（RS-485/EtherCAT）或模拟（4-20mA/0-5V）
响应时间	≤50ms（全开→全关）
重复精度	±1% FS
环境温度	0~50°C（可定制高温/低温版本）
认证	CE、SEMI（部分型号符合半导体行业标准）

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