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更新时间:2026-06-11
浏览次数:23USHIO闪光灯与卤素灯在半导体热处理中的应用
在半导体制造的热处理环节,精准的温控和高效的热能传输是保证工艺一致性的关键。
USHIO提供的闪光灯和卤素灯产品,为半导体热制程提供了从紫外到红外全波段的光学热解决方案。
USHIO闪光灯采用脉冲氙灯光源,可对多种敏感基板进行高能量密度辐照,配合172nm波长的高准直光线,可用于微型精密电路的制造。
USHIO卤素灯则广泛应用于半导体晶圆加热、快速热退火及键合工艺中,通过将电能高效转化为红外辐射热能,实现对半导体材料精准、均匀的加热。
在光刻环节之外,USHIO的光源还可用于半导体可视化检测和液流分布观察等工业应用。
通过将传统照明光源与智能成像技术结合,USHIO为半导体制造过程中的过程监控和良率分析提供了新的技术手段。
凭借在特种光源领域深厚的技术积累,USHIO在功率半导体、光半导体、IC封装基板等细分市场占据重要份额,是台积电、三星、应用材料等国际半导体的核心光源供应商。