MIYUKI 美幸辉真空阀门在光学真空镀膜行业的实际应用
光学真空镀膜对腔体内压力稳定性要求较高,压力波动会直接影响薄膜均匀度、透光率,MIYUKI 美幸辉整套真空调压组件被大量用于镜头增透膜、ITO 导电膜、玻璃镀铝等镀膜产线。
工艺中,BAR 伺服蝶阀搭配 MGCS 控制器组成闭环压力控制单元,实时调节腔体压力,抑制抽气、进气带来的压力扰动。小开度区间平稳调节,保障镀膜全程压力稳定。设备低发尘特性,减少微粒落在光学基材表面,降低不良品。
工艺结束破空阶段,可设置阀门小开度缓破空,避免气流冲击造成膜层损伤。气动 B 系列蝶阀用于前级管路通断,实现抽气、隔离、泄压流程自动化。
实际使用注意事项:镀膜工艺会产生蒸镀沉积物,长期使用阀板表面会附着薄膜材料,需要定期维护清洁;烘烤工况严格遵守产品耐温上限;定期校验真空计,保证闭环控制采集信号准确。法兰连接部位做好密封检查,防止外部漏气引入杂质,影响镀膜品质。