
PRODUCT CLASSIFICATION
更新时间:2026-03-25
浏览次数:18新品发布!!DIAVAC大亚真空IV-60测定子
新品发布!!DIAVAC大亚真空IV-60测定子
近期我司新推出DIAVAC大亚真空IV-60测定子
在半导体制造、真空镀膜、加速器以及各类高真空科研设备中,真空度的精确测量是保证工艺稳定性的关键。日本DIAVAC大亚真空推出的 IV-60 电离真空规管,作为 IT-3DA 电离真空计的标准配套测定子,以其高灵敏度、宽测量范围,成为高真空领域不可h缺的测量元件。
产品定位与配套关系
IV-60 是一款 B-A型(Bayard-Alpert)电离真空规管,通常作为测定子(传感器)与DIAVAC的IT-3DA系列显示单元配套使用。两者共同构成完整的电离真空测量系统,用于10⁻²至10⁻⁷ Pa范围内的高真空测量。
⚠️ 注意:根据说明,显示单元与测定子是配套设计的,不同类型的探头不能混用。IV-60仅适用于IT-3DA及其兼容型号。
技术规格
产品型号 | IV-60 |
类型 | B-A型电离真空规(Bayard-Alpert型) |
测量范围(配套IT-3DA) | 9.9 × 10⁻² 至 1.0 × 10⁻⁷ Pa |
接口规格 | φ15 连接 |
材质 | 玻璃 |
重量 | 约 90g |
配套显示单元 | DIAVAC IT-3DA 电离真空计 |
标准配件 | 测量线(2米) |
工作原理与应用场景
🔬 B-A型电离规工作原理
IV-60采用B-A型结构设计,这是目前高真空测量领域成熟的技术方案。其工作原理如下:
热阴极发射电子,电子在电场作用下加速运动。
电子与气体分子碰撞,使其电离成正离子。
离子被收集极收集,产生的离子流与气体压力成正比。
通过测量离子流强度,即可换算得出真空度数值。
B-A型电离规具有灵敏度高、稳定性好、响应速度快的特点,特别适用于10⁻¹至10⁻⁷ Pa范围的高真空和超高真空测量。
🏭 主要应用领域
半导体制造:刻蚀、沉积等工艺腔体的真空度监控。
真空镀膜:光学镀膜、装饰镀膜设备的真空测量。
科研实验:表面物理、材料科学等领域的真空系统。
加速器与核聚变:大型科学装置的真空诊断。