
PRODUCT CLASSIFICATION
更新时间:2026-05-27
浏览次数:10新品发布!!福乐FLUORO 无油隔膜真空泵 FV-60
新品发布!!福乐FLUORO 无油隔膜真空泵 FV-60
近期我司新推出福乐FLUORO 无油隔膜真空泵 FV-60
在半导体晶圆制造的众多工艺环节中,真空源的洁净度直接关系到产品良率。传统油封泵的油气挥发污染,以及普通干泵对微尘的过滤不足,始终是洁净室环境中的隐患。日本福乐FLUORO推出的FV-60无油隔膜真空泵,以双向HEPA过滤设计和更强的真空吸附能力,成为适配8寸及12寸晶圆搬运的理想真空动力源。
FV-60采用无油多级隔膜式结构,泵体内部全不依赖润滑油进行密封,从根源上杜绝了油气挥发对洁净室的污染风险。该型号突出的设计亮点在于其内置的双向HEPA过滤系统——吸气口与排气口均配置了高效微粒空气过滤器,可捕获99.97%以上直径大于0.3微米的颗粒物。主机设有透明视窗,操作人员无需拆解即可直观检查滤芯的积尘状态,确保真空输出始终处于洁净状态。
在真空性能方面,FV-60的气流量达到2.5升/分钟,极限真空压力可达-600 mmHg(-80 kPa),较同系列FV-30型号真空度提升一倍。整机功耗为10.0W,尺寸为137×88×133mm,重量1250g,设计与FV-30保持同样的紧凑与便携性。外壳采用尼龙材质并具备静电防护性能,可搭配抗静电真空管线与接地装置,全面适配半导体等对静电高度敏感的作业场景。
作为福乐FLUORO真空泵家族的进阶型号,FV-60以无油环保、高效过滤、静电防护与紧凑便携四重价值,为半导体制造、实验室等对洁净真空有严苛要求的场景提供了值得信赖的动力方案。