新品发布！！SEM坂本 SELN-121BM无线电双轴精密数字水平仪

新品发布！！SEM坂本 SELN-121BM无线电双轴精密数字水平仪

新品发布！！SEM坂本 SELN-121BM无线电双轴精密数字水平仪

近期我司新推出SEM坂本 SELN-121BM无线电双轴精密数字水平仪

产品概述

SELN-121BM是日本SEM（坂本电机製作所）推出的无线电双轴精密数字水平仪。该产品采用传感器与显示器分离的无线分体式设计，适用于半导体制造设备、精密机床、光学平台等高精度设备的水平校准与调试。

核心技术参数

• 测量精度：X/Y双轴角度精度±0.001°（17.5μm/m），零点重复精度≤±0.001°，测量分辨率0.0002°

• 测量范围：X/Y轴线性角度测量范围均为±0.3°，超量程（0.3°及以上）触发OVER显示

• 响应速度：≤50ms，可快速捕捉倾斜变化

• 数据处理：搭载32位微处理器、14位A/D转换器，A/D分辨率0.000025°

• 显示与操作：4.3英寸彩色LCD触摸屏，支持μm/m、角度（°、°′″）等多单位切换

• 尺寸重量：传感器75×75×34mm；主机约96×35×145mm，重280g

• 供电方式：主机可选专用AC适配器DC6V或4节AA电池；传感器可用锂离子充电电池或3节AAA电池（USB供电）

• 工作环境：-10℃至+50℃，具备防尘与抗电磁干扰能力

• 数据功能：支持角度数据存储（最多15个文件，120点/文件）及USB实时外部输出

选型说明

SELN-121BM为无线型号。同系列另有有线型号SELN-001B，用户可根据现场作业环境及数据传输需求选择。SELN-121BM适用920MHz频段（指定低功率无线电），符合国内无线电法规。

典型应用场景

• 半导体制造：光刻机、晶圆键合机、CMP抛光平台的水平校准，保障晶圆刻蚀、光刻等工序的芯片良率

• 精密加工：五轴加工中心、坐标测量机、光学平台的基准面调平，保障加工精度

• 自动化产线与机器人：机器人关节、机械臂安装基座的水平校准，适配狭小安装空间