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更新时间:2026-09-28
浏览次数:8新品发布!!ULVAC 爱发科 DIS-252 涡旋干式真空泵 洁净无油前级真空设备
新品发布!!ULVAC 爱发科 DIS-252 涡旋干式真空泵 洁净无油前级真空设备
近期我司新推出ULVAC 爱发科 DIS-252 涡旋干式真空泵 洁净无油前级真空设备
在精密分析仪器与小型真空工艺领域,无油洁净真空需求持续提升,ULVAC 爱发科 DIS-252 两段式双绕涡旋干式真空泵,凭借无油结构与稳定真空性能,广泛用作涡轮分子泵前级泵,适配实验室、精密镀膜、氦检等各类洁净真空工况。
DIS-252 采用一级动涡盘搭配双层定涡盘两段压缩结构,无需泵油,不会产生油蒸汽污染。设备 50Hz 抽速 250L/min,60Hz 抽速 300L/min,极限压力可达 1.6Pa,支持从大气压到极限真空全区间连续运行,无需配置旁通管路。整机风冷设计,不需要外接冷却水,运行低振动、低噪音,配备计时表可监控运行时长,方便用户制定预防性维护计划。泵口标准 KF 接口,进气 KF-25,排气 KF-16,整机重量 25kg,安装布置便捷。
该款涡旋干泵主要应用于真空镀膜设备、扫描电镜、X 射线分析仪器、氦质谱检漏、样品真空脱气、小型半导体配套工艺等场景,可提供洁净无油的前级真空环境,避免样品与腔体受到油污染。设备适用于干燥洁净气体抽吸,若介质含有水汽、粉尘,建议配套前置捕集器与过滤装置,防止涡旋盘磨损。
DIS-252 体积紧凑,性能均衡,是科研实验室、设备集成厂商选型较多的中型干式涡旋真空泵,可满足中小腔体洁净抽真空需求。