新品发布！！爱发科 ULVAC DIS-90 涡旋式干式真空泵

新品发布！！爱发科 ULVAC DIS-90 涡旋式干式真空泵

新品发布！！爱发科 ULVAC DIS-90 涡旋式干式真空泵

近期我司新推出爱发科 ULVAC DIS-90 涡旋式干式真空泵

一、产品概述

日本 ULVAC 爱发科 DIS-90 为双绕式涡旋干式真空泵，属于小型无油真空获得设备，采用两级涡旋结构，可直接从大气压开始抽气，无需设置旁路，能够获得较高极限真空。泵体内部无润滑油，不存在油雾返流污染真空腔体的问题，输出洁净真空，适配实验室精密分析设备、半导体小型工艺、真空检漏等对清洁度有要求的场景。整机结构紧凑，体积小巧，自带热保护、空气冲洗功能，配备运行计时表，方便运维人员管控保养周期。

二、工作原理

DIS-90 采用双绕涡旋结构，由固定涡旋盘与做偏心公转运动的动涡旋盘组成。动涡旋盘偏心旋转，与静涡盘之间形成月牙形密闭容积，容积随公转不断发生周期性变化，依次完成吸气、压缩、排气过程。两级涡旋串联，逐级压缩气体，实现高极限真空。干式无油结构，泵腔内部不使用真空油，避免油蒸气污染真空系统；可选空气冲洗功能，抑制水汽在泵内凝结，提升含水工况耐受能力。

三、技术特性

1. 抽气性能：50Hz 抽速 90L/min，60Hz 抽速 108L/min，极限压力可达 5Pa；

2. 结构类型：双绕两级涡旋干式结构，大气压下可直接启动连续运行；

3. 电气参数：单相 100/115/200/230V，电机功率 150W；内置自动复位热保护器；

4. 接口规格：进气 KF-25，排气 KF-16；整机重量 14kg；

5. 环境指标：工作温度 5~40℃；水蒸气处理量≤5g / 天；AF 开启时噪音≤52dB；

6. 运维特点：配置运行计时表，便于监控维护周期；低振动低噪声，适合实验室环境。

四、应用技术场景

适用于涡轮分子泵 TMP 前级泵、氦质谱检漏仪配套、理化分析仪器、小型真空镀膜设备、稀有气体回收系统、半导体小型工艺设备。主要用于需要洁净无油真空的工况，规避油污染对样品、工件、腔体内壁造成的不良影响，广泛用于实验室研发、精密检测、小型真空工艺。如需产品规格资料、选型咨询，可联系池田屋贸易周小姐。