什么是电阻式薄膜厚度计？

更新时间：2026-02-28

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什么是电阻式薄膜厚度计？

电阻式薄膜厚度计是一种利用导电薄膜的电阻值与厚度之间的物理关系，通过测量电阻来间接确定薄膜厚度的电学测量仪器。它主要用于测量金属导电薄膜的厚度，特别是在不导电基材（如玻璃、塑料）上的金属镀层。

电阻式薄膜厚度计的核心工作原理基于欧姆定律和金属导体的电阻率特性。对于均匀的导电薄膜，其电阻值（R）与厚度（t）的关系可以表示为：

$R = ρ \frac{L}{W \cdot t}$ R=ρW⋅tL

其中：

当长度和宽度固定时，薄膜的电阻与其厚度成反比——薄膜越薄，电阻越大；薄膜越厚，电阻越小。

在实际应用中，仪器通常测量的是方块电阻（单位：Ω/sq），这个概念对于理解薄膜的导电特性非常直观。对于给定材料，方块电阻与厚度满足： $R_{s} = \frac{ρ}{t}$ Rs=tρ

因此，只要知道材料的电阻率，通过测量方块电阻就可以计算出薄膜的精确厚度。

电阻式薄膜厚度计主要有两种测量方式：

测量方式	工作原理	典型应用
四探针法	四个探针呈直线排列与薄膜接触，外侧两个探针通以恒定电流，内侧两个探针测量电压降，通过电压与电流的比值计算出电阻值。这种方法消除了接触电阻的影响，精度很高。	半导体晶圆上的金属膜、印刷电路板上的铜箔
双电极接触法	采用两个高精度电极直接接触试样表面，测量规定长度和宽度内的电阻值，结合内置算法计算厚度。	包装行业镀铝膜的快速检测，遵循GB/T 15717-1995标准

电阻式薄膜厚度计具有以下显著特点：

典型应用场景包括：

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