
PRODUCT CLASSIFICATION
更新时间:2026-05-27
浏览次数:12FLUORO FV-10无油隔膜真空泵:电磁驱动的小型化真空动力新选择
半导体制造、医疗设备与食品工艺等领域的精密操作,往往需要清洁、稳定且紧凑的真空源。FLUORO FV-10无油隔膜真空泵正是为满足这类多样化场景而设计的小型化真空动力设备。该泵采用隔膜封闭空间内的多级减压结构,能够在紧凑机身中获得高真空压力,适用于从自重掉落物品到4英寸硅晶圆的搬运操作。
FV-10在进排气口均配置了HEPA过滤器,可实现洁净排气,符合洁净室使用标准,过滤器透明窗便于观察更换时机。电磁驱动方式大幅减少了机械磨损和接触部件,几乎免维护,使用寿命达到隔膜耐久性理论值。运行过程中无机械接触噪声,车身密封结构进一步保障了高静谧性。
值得注意的是,FV-10无需压缩机等气源,仅需100V电源插座即可在任何地点使用,尤其适合实验室等空间有限的场所。搭配FLUORO真空镊子可拓展产品应用范围,为晶圆搬运、微小零件拾取等操作提供灵活、经济的真空解决方案。