您好,欢迎进入池田屋实业(深圳)有限公司网站!
全国服务热线:17503077078
产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

技术文章/ article

您的位置:首页  -  技术文章  -  FLUORO隔膜真空泵的HEPA过滤与洁净室适用性分析

FLUORO隔膜真空泵的HEPA过滤与洁净室适用性分析

更新时间:2026-05-27      浏览次数:9

 FLUORO隔膜真空泵的HEPA过滤与洁净室适用性分析


在半导体、光伏及生物医药洁净室中,真空设备不仅需要提供稳定负压,还必须杜绝颗粒污染源带来的交叉污染风险。

FLUORO全系列隔膜真空泵在进排气口均集成HEPA过滤器,设计精妙,是洁净室环境中值得关注的技术亮点。

HEPA滤芯能有效过滤99.97%的大于0.3微米的悬浮颗粒物。

吸气端过滤可以防止外界尘埃被吸入泵体内部造成阀片磨损;排气端过滤则可保证排出的空气洁净无油,不污染操作环境。

更人性化的是,泵体透明窗口允许操作人员目视检查滤芯状态,明确掌握更换时间。

此外,该泵结构将隔膜封闭安装,运行声音极其安静,满足GMP、ISO等相关洁净环境对噪声控制的严苛要求。

对于在半导体晶圆车间进行PECVD工艺前后晶圆转移,或生物医药实验室中需无菌操作的场景,FLUORO隔膜真空泵的HEPA过滤系统与无油设计共同构成了一道坚实洁净屏障,在源头保障整个工艺链路的洁净度。


  • 企业名称:

    池田屋实业(深圳)有限公司

  • 联系电话:

    0755-22220219

  • 公司地址:

    深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷10号展源商务大厦 1207

  • 企业邮箱:

    zx@ikedaya.cn

扫码添加微信

Copyright © 2026池田屋实业(深圳)有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备2023000448号

技术支持:化工仪器网    管理登录    sitemap.xml