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FLUORO抗静电真空吸笔:解决静电放电对敏感元件的隐忧

更新时间:2026-05-27      浏览次数:14

FLUORO抗静电真空吸笔:解决静电放电对敏感元件的隐忧


静电放电是半导体制造过程中的无形杀手,一个微小的静电击穿就可能使晶圆报废。

FLUORO抗静电系列真空吸笔及晶圆镊子通过科学的多层静电消散材料组合设计,为敏感元件的搬运提供了全过程安全保障。

抗静电系列真空吸笔通过采用传导性尼龙笔身,将表面电阻率控制在10⁶~10⁸Ω的防静电范围内,可有效消除人体或环境接触产生的静电荷积聚。

吸附笔头使用同样具有ESD防护特性的导电PEEK材料制成,与导电笔身形成完整的静电泄放路径,整体满足半导体晶圆制造过程中对抗静电工具的各项严苛要求。

在PECVD等离子体增强沉积工艺、晶圆边缘抛光或硅片参数测试等对静电敏感的工序中,选用FLUORO抗静电真空吸笔可显著降低因静电击穿所导致的良率损失。

配合FV系列无油HEPA真空泵使用,形成了从吸力源到吸附头全程洁净防静电的完整解决方案,有效保护晶圆、芯片及微机电系统元器件不受损伤。


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