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FV-30高真空隔膜泵:半导体产线与洁净室的可靠真空保障

更新时间:2026-05-27      浏览次数:14

 FV-30高真空隔膜泵:半导体产线与洁净室的可靠真空保障


随着半导体工艺对洁净度要求的不断提升,无油、无尘且高稳定性的真空泵成为产线标配。

FLUORO FV-30无油真空泵以其紧凑体型和z越性能,在半导体制造工厂、医疗设备应用和食品制造工艺等广泛市场中获得认可。

FV-30在结构上采用将隔膜封闭于封闭空间内并联分级减压的创新设计,实现了比FV-10更高的真空压力,处理范围可覆盖从自重掉落物品到6英寸硅晶圆。

气流量为2.5L/min,压力最高可达-300mmHg,功耗仅5.0W,尺寸仅为137×88×85mm,重约800g。

吸气口及排气口均内附HEPA滤芯,可阻挡99.97%的大于0.3μm的微颗粒物,确保洁净室适用性。

该泵同时具备壳体静电防护、抗静电真空管线配件以及符合CE国际标准的安全认证。

长期高稳定性设计加上降低噪音的结构优化,使之在长时间连续运行中始终保持可靠的真空输出,是半导体产线不可h缺的动力设备。


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