ULVAC Qulee BGM2 四极杆残余气体分析仪深度解析 —— 锂电真空工艺专用在线 RGA 监测设备
锂电池真空烘烤、注液、化成、检漏工序对真空监测设备提出多组分实时识别、微量杂质高灵敏检出、24 小时连续稳定、现场免电脑操作、自动化产线联动五大硬性技术指标。ULVAC Qulee BGM2 是爱发科面向量产工艺推出的经济型四极杆质谱残余气体分析仪（RGA），采用成熟四极质量分离技术，区分 1~100/1~200amu 双量程，搭配法拉第杯、二次电子倍增双探测器方案，专为锂电、镀膜、真空炉量产在线监测优化，本文从核心参数、结构技术、工艺适配、选型运维展开专业解析。
一、核心规格性能参数（50Hz 标准工况）
质量分离：四极杆型质谱，分辨率 M/△M=1M（10% 峰高）；分 1~100amu（101/102）、1~200amu（201/202）两款量程，覆盖水汽、氮气、氧气、NMP、电解液分解气体、氦示踪气全组分检测。
探测系统：101/201 基础款为法拉第杯，灵敏度 10⁻⁷A/Pa；102/202 高配搭载二次电子倍增管，灵敏度提升至 4A/Pa，最小可检测分压达 10⁻¹⁰Pa 级，精准捕捉 ppb 级微量杂质。
硬件功能：本体集成显示单元，One Click 一键测量；同步总压力测量；内置氦检漏、空气泄漏、本底扫描功能；支持 120℃原位烘烤，电子轰击离子源脱气；DC24V 供电，整机功耗 50W；标配 RJ45 以太网、数字 IO 接口，兼容 Windows 版 Qulee QCS 分析软件。
工况适配：标准 KF 法兰安装；搭配 YTP-H 差分排气单元可兼容 10~3000Pa 中高压腔体；整机符合 CE、RoHS 工业安全标准ULVAC SHOW...。
二、锂电专属优化结构设计
宽量程有机气体识别：200amu 量程型号可完整识别 NMP、碳酸酯电解液大分子，解决锂电高溶剂工况普通 100amu 质谱无法检出有机杂质的痛点，精准管控极片烘烤残留溶剂。
抗污染长效离子源：封闭式磁控离子源，双 Ir-Y2O3 备用灯丝；可原位高温烘烤脱附溶剂、水汽，长期高污染工况基线稳定，大幅降低校准频次。
分体式快拆维护架构：分析管与控制主机分离，离子源、倍增管独立模块化，故障更换无需整机返厂，缩短产线停机时间；倍增管无铍有害物质，适配洁净锂电车间环保要求。
双模式适配产线：单机直接对接高真空烘箱；搭配 Desktop YTP 差分泵组，可在线监测注液仓、化成中真空腔体，一套设备覆盖全制程真空区间。
三、锂电全工艺适配场景
极片真空烘烤：实时监测 H₂O、NMP 残留分压，判定烘烤工艺是否达标，管控批次水分一致性；
真空注液 / 化成腔体：监测电解液分解产气、微量空气渗入，预警密封失效；
真空管路 / 腔体检漏：搭配氦检仪同步判定氦气泄漏分压，快速定位法兰、密封圈微小漏点；
实验室中试：电芯小样真空脱气、材料热分解气体组分分析、设备真空系统本底检测。
四、选型边界与运维技术优势
选型区分：实验室、小型间歇烘箱、仅监测水汽 / 空气基础杂质，选用 BGM2-101；量产隧道炉、高浓度 NMP 注液腔体、微量杂质高精度监测，选用 BGM2-202；需检出 ppb 级痕量杂质、长期高负荷连续监测，优先带倍增管的 102/202 型号。运维优势：无需工控机现场操作，降低配套硬件投入；一键自动检漏、自动脱气，操作门槛低；以太网直连产线 PLC/MES，20 通道组分趋势长期存储，数据全程可追溯；耗材更换周期长，年度维保成本远高于进口科研级 RGA。整机专为量产工艺性价比优化，在锂电真空腔体杂质在线监测、隐性泄漏预警、长时间连续稳定运行场景，兼顾检测精度与量产落地成本，是锂电工厂真空工艺品质管控标准化主力在线气体分析设备。
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更新时间：2026-07-15 
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