ULVAC 爱发科 YM 系列真空机组全谱系解析：型号参数、分类与工况选型规范

一、四大子系列结构定位与核心特性

1. YMV 单级旋片真空机组（YMV-01A、03A、06A、12A）

   基础单油旋片集成机组，无增压泵，仅依靠 GLD 小型旋片泵构建真空单元，整体体积紧凑、全风冷、安装简易。抽速梯度 10～120m³/h，极限真空可达 1.0×10⁻¹Pa，适配低负载、间歇式小型真空工艺，如实验室试样处理、小型树脂脱泡、小件真空封装。整机标配油雾过滤器、防返油阀，防止停机润滑油倒灌污染腔体，维护仅需定期更换真空油与滤芯。
2. YM-VS 旋片 + 小型罗茨风冷机组（YM-VS-601、602、1201、1202A）

   采用 VS 系列旋片前级搭配小型风冷罗茨增压结构，一体式机架集成，无需外接冷却水。60 系列基准抽速 60m³/h，120 系列基准抽速 120m³/h，后缀 1/2 区分电机功率与压差耐受等级，1202A 为优化升级款，提升高气体负荷适应性。相比纯旋片机组，中低压区间抽速提升 3～5 倍，适合中小腔体镀膜、锂电池小批量脱气。
3. YM-RL 轻量化风冷罗茨机组（YM-RL-601A、602A）

   搭载 NRL 系列洁净风冷罗茨泵配套旋片前级，无油增压腔体，杜绝润滑油挥发污染工件。全系风冷结构，KF 标准快拆法兰，适配镜片蒸镀、医疗器械真空处理等洁净度要求严苛工艺，601A 为基础款，602A 强化电机负载能力，可耐受轻微溶剂蒸汽。
4. YM-VD 水冷重载罗茨成套机组（YM-VD 全系列）

   搭载 NB 系列水冷罗茨增压泵，专为 24 小时连续量产设计，分 30/60/120 流量段，后缀 1/2 代表负载等级，1202A 为大流量重载升级型号。外置水冷散热回路，可处理高水汽、高溶剂挥发工况，极限真空稳定 0.5Pa 以内，适配工业冻干、连续热处理、大型光伏镀膜、化工原料批量脱气等高负荷产线。

二、选型划分标准

三、运维通用规范