新品发布！！FUJIKIN富士金 微调阀 PUN-913P-6.35

概述

FUJIKIN PUN-913P-6.35 是一款用于精确控制微小气体流量的隔膜式微调阀。其核心特点是具有jg的流量调节精度和重复性，专为对流量控制要求极其严苛的应用场景而设计。

主要特点与设计用途

1. 超高精度流量调节：

• 采用精密的阀杆和隔膜设计，可以实现非常微小且平滑的流量调整。

• 具有j佳的重复性，意味着在关闭后再次调整到同一位置时，流量值能够高度一致。

• 隔膜式密封：

• 零泄漏：提供j高的密封性，防止工艺气体外泄或外部污染物进入，对于安全性和纯度至关重要。

• 无颗粒产生：阀杆不与流体接触，避免了因摩擦产生的颗粒污染。

• 长寿命：减少了阀芯密封件的磨损。

• 这是g端调阀的常见设计。通过金属隔膜将阀杆的驱动部分与流路部分w全隔离。

• 优点：

• 适用于严苛介质：

• 专门用于控制高纯度气体、腐蚀性气体、有毒气体或反应性气体。

• 阀体、隔膜和密封材料通常采用 SUS316L、哈氏合金C-22等高性能材料，以确保z越的抗腐蚀性。

• VCR® 接口：

• "PUN-913P-6.35" 中的 "6.35" 通常指接口尺寸为 1/4 英寸。

• 该型号极有可能标配或可选 VCR® 型接口。这是一种金属垫圈面密封接头，广泛应用于超高纯度、真空和危险气体输送系统，具有极g的气密性。

• 精细的螺纹设计：

• 阀杆采用细牙螺纹，使得阀杆每旋转一圈的行程非常小，从而实现了对流量的“微调"。

典型应用场景

由于其高精度和高密封性，PUN-913P系列主要用于以下g端制造和研发领域：

• 半导体制造： 在化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、蚀刻等工艺中，精确控制反应气体的流量。

• 光伏行业： 太阳能电池片生产中的薄膜沉积工艺。

• 科研实验装置： 需要精确配比和输送特种气体的实验室反应系统。

• 特种气体工程： 用于输送、分配高纯度或危险气体的面板和系统。

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