新品发布！！ 日本东丽（TORAY） 半导体氧气分析仪探头 SD40NW-2

新品发布！！  日本东丽（TORAY） 半导体氧气分析仪探头 SD40NW-2

新品发布！！  日本东丽（TORAY） 半导体氧气分析仪探头 SD40NW-2

近期我司新推出 日本东丽（TORAY） 半导体氧气分析仪探头 SD40NW-2

东丽（TORAY）的 SD-40系列 是高纯气体和半导体制造行业中高性能、高可靠性的微量/痕量氧分析仪的代名词。SD40NW-2 是该系列中用于超低浓度测量的核心传感器探头，以其ppb（十亿分之一）级别的检测下限、极快的响应速度和好的长期稳定性著称，是半导体、光伏、特种气体、科研等领域对氧气污染进行严格监控的关键设备。

核心原理：氧化锆传感器

SD40NW-2 探头基于 “极限电流型氧化锆固体电解质" 原理。

• 氧化锆陶瓷管：核心是一个在高温（约700°C）下工作的氧化锆元件。在高温下，它允许氧离子通过。

• 电化学泵：通过在氧化锆两侧施加电压，可以将样气中的氧气“泵入"或“泵出"一个标准气腔。

• 测量极限电流：当泵速达到极x时，产生的电流与样气中的氧气浓度成严格的线性正比关系。通过精确测量这个极限电流，即可计算出极低的氧气浓度。

• 优势：

• 超高灵敏度：可检测低至 1 ppb 甚至更低的氧气浓度。

• 高选择性：只对氧气分子响应，不受其他背景气体（如N₂， H₂， Ar， He等）干扰。

• 宽量程：单台仪器可覆盖从 ppb级到百分比级 的广阔量程（通常为0-10ppm/0-1000ppm/0-100%等多量程可切换）。

• 响应迅速：T90响应时间可达数秒至数十秒（取决于流速和管路），远快于传统电化学传感器。

• 
  

典型应用场景

• 半导体制造：

• 晶圆加工工具（如CVD， PVD， Etch）的保护气（N₂）和工艺气（Ar， H₂）中痕量氧的在线监测。

• 气体分配系统和气柜（Gas Cabinet）的纯度验证。

• 晶圆储存和运输用的充氮手套箱、货柜（FOUP）内的氧含量监控。

• 光伏与平板显示：硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）等特种气体输送过程中的安全监控（防止氧气混合形成爆炸物或影响薄膜质量）。

• 高纯气体生产与供应：空分设备、氢气纯化装置、气体钢瓶/储罐的出厂检验和管道输送在线监测。

• 金属热处理与焊接：可控气氛炉（如氮气保护炉）中的氧含量控制，防止产品氧化。

• 锂电池制造：干燥房、电极涂布烘箱等关键环节的露点及残余氧含量监测（常与露点仪联用）。

• 科研实验室：需要精确控制气氛的实验装置，如催化研究、材料合成等。

东丽 SD40NW-2 探头及其所属的SD-40系列，代表了痕量氧分析技术的水平，是半导体等g端制造业质量控制和安全保障的“守门员"。