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更新时间:2026-03-31
浏览次数:7新品发布!! FUJI-US富士工业 单组分浓度计(专用机型)FUD-1 Model-13
新品发布!! FUJI-US富士工业 单组分浓度计(专用机型)FUD-1 Model-13
近期我司新推出FUJI-US富士工业 单组分浓度计(专用机型)FUD-1 Model-13
该型号保留了 FUD-1 Model-13 的优点,例如易于维护和高精度在线测量,同时配备了用于半导体制造工艺的紧凑型单元式振荡器。
单组分浓度计的特点
可以进行实时浓度测量,而且构建浓度管理系统也很容易。
标准功能包括模拟直流 4-20mA 和数字 RS232C。
测量误差输出和报警输出均为标准功能。
标准功能包括自诊断功能和错误信息显示。
这种小型、轻便的蜂窝式发射器可以直接安装在生产线上。
与液体接触的部件由 PFA 制成,低功率设计确保不会对化学溶液产生影响。
优点
可以进行高精度连续测量。
免维护,无需定期调整或校准。
安装过程中无需任何调整,安装简便。
实时输出使得向流程提供反馈变得容易。
目的
控制CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度等。
在稀释过程中控制各种化学溶液的浓度(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等)
控制清洗过程中清洗液的浓度(例如,HF、NH4OH、KOH、IPA 等)
控制蚀刻过程中蚀刻液的浓度(例如,HF、H2SO4)
| 格式 | FUD-1 型号-13 | |
| 测量参数 | 超声波传播速度和温度 | |
| 展示 | LCD显示屏(浓度、温度、声速/各种参数) | |
| 输出信号 | 模拟直流 4-20mA(可根据浓度值自由调节) 数字 RS232C(浓度、温度、声速、错误代码) 报警 上限/下限 测量异常 | |
| 电源 | 交流电 100V-240V 50/60Hz(也可使用直流 24V) | |
| 结构 | 面板安装型(符合DIN标准)/面板内安装型(可选配防水外壳) | |
| 环境温度 | 0-50℃ 相对湿度 85% 或更低(无冷凝) 0-100℃ 特殊规格 -10-160℃(100℃ 范围) | |
| 功能 | 输出范围设置、报警输出设置、浓度显示移动平均值、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障保护功能、异常值消除、 RS485 输出(不能与 RS232C 同时输出) | |
| 选项 | 温度输出(直流 4-20mA) | |
| 渠道 | 最多 10 个通道 | |
| 兼容发射器 | 型号 13 : SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5 | |