新品发布！！FUJI-US富士工业多成分濃度計(専用機用) FUD-1 Model-53

更新时间：2026-03-31

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近期我司新推出FUJI-US富士工业多成分濃度計(専用機用) FUD-1 Model-53

该型号保留了 FUD-1 Model-53 的优点，例如易于维护和高精度在线测量，同时配备了用于半导体制造工艺的紧凑型单元式振荡器。‍

多组分浓度计的特点

可以实时监测三种成分中两种成分的浓度。

标准功能包括模拟直流 4-20mA（2 通道）和数字 RS232C。

测量误差输出和报警输出均为标准功能。

标准功能包括自诊断功能和错误信息显示。

这种小型、轻便的蜂窝式发射器可以直接安装在生产线上。

与液体接触的部件由 PFA 制成，低功率设计确保不会对化学溶液产生影响。

优点

可以进行高精度连续测量。

免维护，无需定期调整或校准。

安装过程中无需任何调整，安装简便。

实时输出使得向流程提供反馈变得容易。

目的

CMP工艺中CMP浆料和氧化剂浓度的控制等。

清洗过程中清洗液浓度的控制（例如，HF+HNO3，HF+H2SiF6）

控制蚀刻过程中蚀刻液的浓度（例如，TMAH + 光刻胶，TMAH + Si）

型		FUD-1 型号-53
		转换器
测量参数		超声波传播速度、温度和电导率
展示		LCD显示屏（浓度1、浓度2、温度、声速、电导率/各种参数）
输出信号		模拟直流 4-20mA：2 个系统（可根据浓度值自由调节）数字 RS232C（浓度 1、浓度 2、声速、温度、电导率、错误代码）报警上限/下限测量异常：2 个系统
电源		交流电 100V-240V，50/60Hz，30VA（也可使用直流电 24V）
结构		面板安装型（符合DIN标准）
环境温度转换器		0-50℃
		相对湿度85%或以下（无冷凝）
功能		输出范围设定功能、报警输出设定功能、浓度显示移动平均值功能、浓度显示偏移和增益设定功能、自诊断功能、故障保护功能、异常值消除功能、温度时间常数校正
选项		温度输出（直流 4-20mA），RS485 输出（不能与 RS232C 同时输出）
通道（校准曲线）		最多 7 个通道
兼容发射器的示例		SA-20S29+ 电导率仪，SA-20S27+ 电导率仪

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