新品发布！！日本 FLUORO 福乐 M100‑300L 杠杆锁晶圆镊子

新品发布！！日本 FLUORO 福乐 M100‑300L 杠杆锁晶圆镊子

新品发布！！日本 FLUORO 福乐 M100‑300L 杠杆锁晶圆镊子

近期我司新推出日本 FLUORO 福乐 M100‑300L 杠杆锁晶圆镊子

半导体大尺寸 12 英寸硅片人工转运工序，对夹持工具的低污染、防划伤、省力自锁性能要求严苛。FLUORO 福乐 M100‑300L 杠杆锁式手动晶圆镊子，专为 12 英寸（300mm）硅晶圆开发，依靠杠杆自锁结构，无需持续用力握持，是半导体工厂、实验室晶圆取放的专用夹持工具。

产品简介

FLUORO 福乐 M100‑300L 属于 M100 系列杠杆锁晶片夹，整体采用 PEEK 材质加工，无金属接触部件、无粘接胶水，适配百级无尘车间。采用两点接触夹持方式，最大限度减少与晶圆的接触面积，降低颗粒析出与划伤风险。杠杆棘轮自锁机构，夹持完成后锁定，操作人员只需承担晶圆自重，长时间作业手部不易疲劳，主要用于 12 英寸硅片、碳化硅大尺寸晶圆的拿取、转运、上料工序。同系列可选：M100‑150L（6 英寸）、M100‑200L（8 英寸），对应不同尺寸晶圆使用。

核心特点

1. 杠杆自锁省力结构：杠杆力臂优化设计，夹持闭合后棘轮锁定，不用持续按压保持夹紧力，大幅降低人工操作负担，避免手抖造成晶圆碎裂风险。

2. 两点接触低损伤：仅两处点位接触晶圆边缘，不触碰晶圆有效芯片区域，接触面抛光处理，减少划痕、颗粒污染，保护光刻胶与镀膜层。

3. PEEK 全材质无尘构造：主体不含金属件、不含胶水，可高温清洗消毒；耐化学溶剂，耐温可达 130℃，低析出，满足半导体洁净制程标准。

4. 夹持力稳定可控：机械结构输出恒定夹持力，不会因为手劲大小变化压伤晶圆，适配薄型大尺寸硅片搬运。

5. 便于清洗复用：整体可拆解清洗，耐高温冲洗，反复使用，降低耗材更换成本。

主要应用场景

• 半导体行业：12 英寸硅晶圆、300mm 碳化硅晶圆转运、片盒取放、检测、贴膜、划片前后人工操作

• 材料实验室：大尺寸半导体基板、陶瓷薄片样品夹持转移

• 光电行业：大尺寸玻璃基板、光学衬底无尘工位搬运

选型与采购说明

M100‑300L 适配12 英寸 300mm 晶圆；8 英寸选 M100‑200L，6 英寸选 M100‑150L。本品为机械手动晶圆镊子，不属于真空吸笔，不需要搭配真空泵使用。池田屋商社周小姐可提供 FLUORO 福乐全系列晶圆镊子、真空吸笔、吸嘴、软管的型号确认、现货询价及供货对接服务。