新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑X 型干式真空泵

新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑X 型干式真空泵

新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑X 型干式真空泵

近期我司新推出日本荏原 EBARA EV‑X 型干式真空泵

半导体制造刻蚀、CVD 沉积、灰化等中负荷工艺，对真空泵无油洁净、抗腐蚀、节能稳定提出很高要求。荏原 EV‑X 干式螺杆真空泵，面向晶圆厂 Sub‑fab 工况开发，紧凑型模块化结构，一台设备可适配多种工艺，是半导体产线主流工艺干泵荏原製作所。

产品简介

荏原 EV‑X 属于无油螺杆式干式真空泵，不含泵油，杜绝油雾返流污染腔体。系列包含 EV‑X100N、EV‑X200N、EV‑X300N，抽速 10000‑30000L/min，极限真空可达 0.5Pa，水冷散热，支持 50Hz/60Hz 电网同性能输出，无需额外变频改造上海荏原精...。标配耐腐蚀材质，N 后缀机型采用镍合金防腐腔体，搭配氮气吹扫选件，可应对氟化气体、氨气等腐蚀性工艺废气；搭载宽域温度控制系统，针对不同工艺自动调节泵体温度，抑制副产物析出结块，减少泵体堵塞故障。整机模块化设计，维护拆装简单，自带电控监测单元，支持报警、接点信号输出，对接产线 PLC 上位系统，满足 SEMI‑S2 工业安全规范EBARA CORP...。

核心特点

1. 全无油洁净真空：干式螺杆非接触运转，无润滑油介入真空侧，不会发生油蒸汽倒灌，保障腔体洁净，避免晶圆工艺污染风险。

2. 宽域温控适配多工艺：智能泵体温度管控，可同时覆盖刻蚀、CVD、灰化、离子注入多种制程，减少产线备品型号，优化备件库存管理荏原製作所。

3. 节能紧凑机身：荏原自研节能技术，同等抽速下功耗更低；设备占地面积小，适配 Sub‑fab 空间局促的安装条件，落地摆放灵活EBARA Tech...。

4. 强抗腐蚀能力：标准机型耐一般工艺气体；N 版本镍合金腔体，搭配氮气吹扫选件，耐受腐蚀性、含微量粉尘排气，延长部件使用寿命，降低综合使用成本。

5. 完备电控与联锁功能：内置运行监测、超温、过载故障报警，继电器接点输出，可联动工艺设备，实现远程监控，及时规避异常停机损失。

6. 模块化易维护：部件模块化拆分，现场检修更换耗材便捷，缩短产线停机时间，适配工厂自动化运维需求。

主要应用场景

• 半导体行业：刻蚀设备、CVD 薄膜沉积、去胶灰化、离子注入、外延工艺主抽真空EBARA CORP...

• 功率半导体：碳化硅、氮化镓器件制造产线真空排气

• 显示行业：面板镀膜、等离子工艺真空抽取

• 科研及新材料：各类腐蚀气氛真空工艺、特种材料制备排气工况

选型与采购说明

EV‑X100N、EV‑X200N、EV‑X300N 对应不同抽速；普通工况选用标准机型，腐蚀性气体优先选用 N 镍合金防腐版本，氮气吹扫为选配组件。池田屋商社周小姐可提供荏原 EV‑X 系列真空泵型号确认、工况选型核对、现货询价及供货对接服务。