新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑M 系列重载耐腐多级罗茨干式真空泵

新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑M 系列重载耐腐多级罗茨干式真空泵

新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑M 系列重载耐腐多级罗茨干式真空泵

近期我司新推出日本荏原 EBARA EV‑M 系列重载耐腐多级罗茨干式真空泵

半导体 LPCVD、HDP‑CVD、金属刻蚀等重制程，会产生大量粉尘副产物、卤素强腐蚀工艺气体，对真空泵耐腐蚀性、抗粉尘能力、氢气抽气性能提出高要求。荏原 EV‑M 系列为重载水冷多级罗茨干式真空泵，面向严苛重腐蚀工艺开发，与 EV‑S 轻载风冷、EV‑X 中载螺杆机型形成完整产品梯队，是晶圆工厂 Sub‑fab 重载工艺主力真空设备。

产品简介

荏原 EV‑M 系列采用多级罗茨转子结构，全无油干式设计，水冷散热方式，极限真空可达 0.5Pa，抽速覆盖 10000‑110000L/min，包含 EV‑M102N、EV‑M202N、EV‑M302N、EV‑M502N、EV‑M802N、EV‑M1202N 等型号。标准 N 机型腔体、转子采用镍基合金、化学镍镀层，耐受 HF、HCl、氯气、硅烷等腐蚀性气体；SF 高配版本内腔 PFA 特氟龙涂层，应对高浓度强腐蚀工况。搭载分区伴热温控系统，抑制工艺副产物凝结堆积，降低泵体堵塞风险；自带怠速节能模式，待机工况自动降功率，50Hz/60Hz 电网下性能保持一致，取得 SEMI‑S2、CE 安全认证，适配半导体量产产线长期连续运行。相比螺杆泵，EV‑M 罗茨结构氢气抽速更优，适合 ALD、LPCVD 大量氢气工艺排气场景。

产品线区分：EV‑S：轻载、风冷、洁净 / 微量腐蚀EV‑X：中载、螺杆、通用刻蚀 CVDEV‑M：重载、水冷、强腐蚀、高粉尘副产物制程

核心特点

1. 多级罗茨结构，氢气抽气性能优异罗茨转子设计，氢气抽速优于同级别螺杆干泵，复抽速度快，提升 ALD、LPCVD 等含氢工艺产能；大流量吞吐，可处理大量粉末状工艺副产物。

2. 分级防腐材质，适配强腐蚀重制程N 版本镍合金 + 化学镍镀层，应对常规卤素腐蚀气体；SF 特氟龙全涂层版本，适配高浓度HF‌等严苛腐蚀工况，减少腔体腐蚀磨损，延长设备寿命。

3. 分区伴热温控 + 水冷散热泵体分区加热控温，防止反应副产物冷凝结块；水冷散热，重载工况温度稳定，适合 7×24 小时工厂连续量产运行上海荏原精...。

4. 智能怠速节能控制搭载空载节能模式，待机阶段自动降低功耗，相比传统重载干泵综合节能 30% 以上，降低产线长期用电成本。

5. 完备监控与通讯联锁面板实时显示温度、负载、真空、冷却水状态；具备超温、过载、断水多重保护；支持继电器接点、通讯信号输出，对接产线 PLC 中控系统，实现故障报警、安全联锁与远程运维。

6. 无油洁净，模块化易维护真空侧全无油，杜绝油雾返流污染晶圆；整机模块化，便于现场检修保养，降低停机维护时长，控制设备全生命周期使用成本。

主要应用场景

• 半导体芯片制造：LPCVD、HDP‑CVD、MOCVD、ALD 原子层沉积、金属刻蚀、RTP 快速热处理、高副产物干法工艺排气EBARA

• 功率半导体：碳化硅、氮化镓器件重腐蚀薄膜、刻蚀制程

• 平板显示行业：大尺寸面板高负荷镀膜、刻蚀产线

• 光伏新能源：电池片扩散、镀膜、刻蚀重载工艺

• 新材料领域：含有腐蚀性、粉尘副产物的各类真空工艺工况

选型与采购说明

EV‑M‑N 为标准镍合金防腐机型；强腐蚀工况选用 EV‑M‑SF 全 PFA 涂层版本；进气过滤器、氮气吹扫组件、尾气处理单元为选配。池田屋商社周小姐可提供荏原 EV‑M、EV‑X、EV‑S 全系列真空泵工况评估、型号确认、现货询价以及供货对接服务。