新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑S 系列节能省空间干式真空泵

新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑S 系列节能省空间干式真空泵

新品发布！！日本荏原 EBARA EV‑S 系列节能省空间干式真空泵

近期我司新推出日本荏原 EBARA EV‑S 系列节能省空间干式真空泵

半导体 Load‑lock 腔体、LED 光伏产线、科研真空设备，既需要无油洁净真空，又面临机房空间紧张、工厂能耗管控压力。荏原 EV‑S 系列干式螺旋真空泵，主打节能、小型轻量化，风冷无油结构，适配轻‑中负荷工艺，是洁净制程、研发样机优选干式真空设备 。

产品简介

荏原 EV‑S 系列为单级风冷干式螺旋真空泵，无油设计，转子非接触运转，无需泵油，直接向大气排气，不需要配置前级泵。产品覆盖 EV‑S20、EV‑S50、EV‑S100、EV‑S200 多个型号，抽速区间广；提供标准版、P 氮气吹扫版、N 镍合金防腐版，适配洁净工况以及轻度腐蚀性工艺气体EBARA。标配怠速节能模式，根据工况自动调节转速，洁净工况可不用持续通入氮气，降低氮气消耗与电费成本；风冷散热，省去冷却水配套，1现场安装改造便捷，整机占地面积小，可放置在 Sub‑fab 狭小机房、设备侧旁，满足产线与实验室紧凑布局需求，符合 SEMI‑S2、CE 安全规范 。

核心特点

1. 高能效低功耗：自研转子结构 + 标准搭载怠速待机功能，负载变化自动调速，同等级设备中功耗表现优异，有效降低工厂长期运行电费，洁净工况可减少氮气使用成本。

2. 省空间轻量化机身：整机结构紧凑，占地面积小，重量轻，摆脱水冷管路束缚，既适合工厂机房集中摆放，也可适配设备侧边、实验室工位等安装空间受限场景 。

3. 无油风冷，部署简单：干式无油结构，无油雾返流，保障腔体洁净；风冷散热，无需冷却水系统，减少管路配套，新机到场即可快速投入使用。

4. 多版本防腐选配：基础款用于洁净工艺；P 版本集成氮气吹扫；N 版本采用镍合金防腐腔体，应对含氟、含氯轻度腐蚀工艺气体，按需选型，覆盖多种工况。

5. 完备信号通讯联锁：支持模拟、数字信号通讯，可对接产线 PLC 上位系统；具备温度、负载多重监测，故障报警继电器输出，可实现工艺设备安全联锁，运行状态可追溯。

6. 维护负担低：转子非接触运转，正常工况磨损小；无真空泵油，无需处理废油危废；模块化结构，检修操作便捷，降低运维工时与综合拥有成本。

7. 50/60Hz 同性能输出：不同电网频率下抽速性能保持一致，国内外项目均可适配使用。

主要应用场景

• 半导体行业：Load‑lock 传输腔体、ALD、小型 PECVD、研发刻蚀样机、离子注入辅助真空抽取

• 光电光伏 LED：面板工艺、光伏电池、LED 器件制造真空工序

• 科研院所：电子显微镜、各类真空实验平台、样机研发真空获取

• 一般工业：各类轻负荷无油洁净真空需求工况

选型与采购说明

EV‑S20/50/100/200 对应不同抽速；洁净普通工况选用基础型号；有腐蚀气体选用‑P 吹扫款或‑N 镍合金防腐款。本设备为真空泵主机，进气过滤器、尾气处理单元属于选配组件。池田屋商社周小姐可提供荏原 EV‑S 系列、EV‑X 系列真空泵工况选型核对、型号确认、现货询价及供货对接服务。