新品发布！！ULVAC 爱发科 RDA-280H 多级罗茨干式真空泵

新品发布！！ULVAC 爱发科 RDA-280H 多级罗茨干式真空泵

新品发布！！ULVAC 爱发科 RDA-280H 多级罗茨干式真空泵

近期我司新推出ULVAC 爱发科 RDA-280H 多级罗茨干式真空泵

一、产品概述

日本 ULVAC 爱发科 RDA-280H 为多级罗茨式干式真空泵，属于无油洁净真空获取设备，采用多段罗茨转子串联结构，可直接从大气压启动抽气，无需前级泵配套。泵体内气路区域无润滑油，不存在油雾返流污染腔体的问题，可输出洁净中真空。整机风冷设计，无需外接冷却水，结构紧凑，具备良好耐水蒸气能力，适配半导体、FPD、真空脱气等对真空洁净度有要求的工艺场景。

二、工作原理

泵体内配置两组三叶罗茨转子，转子之间、转子与泵壳之间保持微小间隙，非接触反向旋转，依靠容积变化完成气体输送压缩。多级腔体串联，气体逐级压缩，从进气口输送至排气口排出。全程干式无油结构，转子无摩擦接触，降低磨损；设备配备冲洗气接口，可通入氮气或空气，将泵内凝结水汽、工艺粉尘吹扫排出，提升含水蒸气工况的耐受能力。

三、技术特性

1. 抽气性能：有效抽速 280L/min，极限压力可达 8.0×10⁻²Pa；最大水蒸气吸入量 300g/h；

2. 动力配置：电机功率 720W，支持单相 / 三相宽电压供电，适配工厂各类供电条件；

3. 接口规格：进气口、排气口均为 KF-25 快拆接口；整机重量 38kg；外形尺寸 180 (W)×520 (L)×377 (H) mm；

4. 冷却方式：风冷，无需冷却水，部署简单，减少配套管路；

5. 结构优势：转子非接触运转，磨损低，使用寿命长；泵腔无油，杜绝油污染；内置温控保护，防止高温损坏；

6. 使用环境：工作温度 5~40℃，适合车间连续长期运行。

四、应用技术场景

适用于半导体、FPD 平板显示、真空镀膜、真空脱气、材料干燥、分析仪器前级真空等场景。用于工艺腔体抽真空，保护工件不被油蒸气污染；在含水汽工艺中，可稳定抽取含湿工艺气体，广泛用于中试产线、实验室真空系统、薄膜工艺设备。如需产品规格资料、选型咨询，可联系池田屋贸易周小姐。