新品发布！！ULVAC 爱发科 VPC-061 小型电阻加热真空镀膜机

新品发布！！ULVAC 爱发科 VPC-061 小型电阻加热真空镀膜机

新品发布！！ULVAC 爱发科 VPC-061 小型电阻加热真空镀膜机

近期我司新推出ULVAC 爱发科 VPC-061 小型电阻加热真空镀膜机

一、产品概述

日本 ULVAC 爱发科 VPC-061 为桌面型电阻加热式真空蒸发镀膜机，整机集成主泵、前级泵、阀门管路、电气控制系统与真空测量端口，结构紧凑带移动脚轮，方便实验室内部移位。设备采用玻璃钟罩腔体，腔体内状态直观可视，无需停止主泵即可开启真空腔体更换样品，支持单层蒸镀、多层共蒸工艺拓展，主要用于小尺寸基板薄膜制备，是高校、科研院所材料基础研发、样品试制的小型高真空镀膜设备。

二、工作原理

设备依靠前级机械泵完成粗抽，油扩散泵作为主泵获取高真空环境。在高真空腔体内部，蒸发源通过电阻加热方式使镀膜材料升温熔化、汽化，气化后的材料原子或分子在真空环境中直线飞行，沉积在放置于上方的基板表面，凝聚形成均匀薄膜。可选配液氮冷阱，抑制泵油返流，进一步提升真空度，降低薄膜污染风险。整套系统为手动控制模式，可搭配皮拉尼真空计、电离真空计监测不同阶段真空压力。

三、技术特性

1. 真空性能：空载极限真空 1.3×10⁻³Pa；加装液氮冷阱后可达 1.3×10⁻⁵Pa；20 分钟内可抽到 4.0×10⁻³Pa；

2. 真空机组配置：风冷油扩散泵 50L/s，前级油回转泵抽速 20L/min，标配液氮冷阱；

3. 蒸发系统：电阻加热蒸发电源 PSE-150C，0~10V，最大输出 150A；基板推荐尺寸 25mm×25mm（最大 50mm×50mm），基板与蒸发电极最大间距 100mm；底部预留 3 个馈入端口；

4. 整机参数：外形 434 (W)×422 (L)×673 (H) mm，主机重量 28kg；蒸发电源单独配置，电源重量 40kg；

5. 结构特点：玻璃钟罩可视腔体，带脚轮便于移动；可在主泵不停机状态下开启腔体；支持多源同步蒸发，拓展多层膜制备；

6. 可选配件：皮拉尼真空计、电离真空计，用于不同真空区间压力监测。

四、应用技术场景

适用于高校材料实验室、科研院所、企业研发部门，用于金属薄膜、介质薄膜样品制备。可用于扫描电镜样品喷镀、薄膜材料基础研究、光学薄膜、导电薄膜、金属电极薄膜的试样试制。适合小批量样品研发，快速验证镀膜工艺，评估薄膜附着力、透光、导电等基础特性。如需产品规格资料、选型咨询，可联系池田屋贸易周小姐。