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增量式光栅尺技术:Nikon高度计高精度的核心秘密

更新时间:2026-05-26      浏览次数:18

增量式光栅尺技术:Nikon高度计高精度的核心秘密


Nikon MF-501高度计的核心测量基准来自高精度增量式光栅尺。

该光栅尺采用玻璃基体作为尺身材料,这种材料具有良好的尺寸稳定性和确定的温度特性,支持大测量范围下的稳定测量。

与传统的磁性或容性测量基准相比,玻璃基增量式光栅尺对震动和机械冲击不敏感,使其在带有振动源的工业环境中仍然能够保持良好测量性能。

光栅尺的扫描方式采用光电扫描原理,光源发出的光通过光栅尺的刻线后由光电元件接收,产生相位差为90度的两路正弦波信号。

电子系统对这两路信号进行高倍细分处理,可精确识别出纳米级的微小位移变化,从而将原光栅刻线间距大幅细分,最终实现0.01μm级别的超高分辨率。

正是这一核心技术使Nikon DIGIMICRO系列能够精准应对化工领域中对薄膜厚度、涂层高度、精密器件尺寸等亚微米级别的苛刻测量要求。

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