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更新时间:2026-06-10
浏览次数:14显微分光膜厚仪OPTM——微小区域的非破坏性膜厚测量
在功能性薄膜的制造过程中,被测样品常常具有复杂的三维形状,传统的平板监测样品无法代表实际工件的膜厚分布。
大塚电子的显微分光膜厚仪OPTM系列采用了显微反射分光干涉法,可在微小区域内实现高精度膜厚和光学常数(折射率和消光系数)的解析。
OPTM可对各种薄膜、晶圆和光学材料上的单层或多层涂层膜进行非破坏、非接触的高速测量,测量时间仅1秒/点,即使是初次使用的操作者也能通过配备的直观软件轻松完成光学常数解析。
该设备可实现最小3 μm的测量直径,对具有三维形状的材料也能通过自动对焦功能进行扫描测量,非破坏、非接触地对各个部位的膜厚进行精确测定。
OPTM的价值在于解决了三维形状涂层测量的行业痛点。传统的研磨式试验法或扫描电镜破坏性检查方法无法满足实际生产中快速、无损检测的需求。大塚电子凭借其独特的显微反射分光技术,对形状各异的工作件上的DLC等硬质涂层进行无损测量的贡献,获得了第10届岩木奖优秀奖的认可。该设备的测量对象涵盖功能性薄膜、塑料、半导体、电池材料、光学材料、汽车零部件、显示器用部件、医用部件等广泛领域。从三维曲面零件到微小光学元件,OPTM将膜厚测量的边界拓展到了传统方法难以企及的高度。