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更新时间:2026-06-10
浏览次数:46在线嵌入式膜厚检测——大塚电子赋能智能制造全流程监控
在先进制造领域中,膜厚测量的场景远不止于实验室。产线上的在线实时监控、真空环境下的嵌入式检测、大面积均匀性扫描等需求,对大塚电子的膜厚检测产品线提出了多元化的技术挑战。大塚电子针对这些不同应用场景,开发了涵盖嵌入式膜厚检测仪、线扫描膜厚仪、真空腔体在线检测设备等多款产品。
嵌入式膜厚检测仪采用分光干涉法,搭载了大塚电子高精度FFT膜厚解析系统 。设备使用光学光纤构架测量系统,可灵活嵌入至各种制造设备中,实现实时的膜厚测量,并支持远程操作和多点测量。该设备适用于光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)、FPD相关材料(光刻胶、SOI、SiO₂等)等测量用途,可实现半导体晶圆和玻璃基板的面内分布测量。
线扫描膜厚仪专门用于薄膜等面内膜厚不均一性检测,可在全面高速高精度的条件下完成大面积薄膜检测,硬件和软件均为创新设计。该设备可实现500万点/分以上的高速测量,测量范围为0.1~300μm,测量宽度达250 mm。此外,大塚电子还在真空环境下配备了在线膜厚检测设备,可在高真空环境下测量反射和透射光谱,膜厚运算采用算法,可作为实时监视器使用。从单个检测点到整片薄膜,从常压到真空,从单点抽检到整面扫描,大塚电子提供了覆盖全流程的膜厚检测解决方案。